P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器

多种行程范围和轴配置

P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器
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  • 行程为50微米至250微米(开环为350微米)
  • 分辨率达0.1纳米
  • 线性误差仅0.02%
  • 带电容式传感器的直接计量
  • X、XY、Z和XYZ型

应用领域

  • 干涉测量
  • 显微镜
  • 纳米定位
  • 生物技术
  • 测试应用
  • 半导体技术

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

数据表P-620.Z – P-622.Z

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-13
文件语言
pdf - 657 KB
pdf - 1 MB
pdf - 747 KB

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数据表

数据表P-620.Z – P-622.Z

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-13
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文件

用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
版本/日期
1.1.0 2018-08-07
版本/日期
1.1.0 2018-08-07
文件语言
pdf - 3 MB
pdf - 3 MB

简短说明PZ240

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
5.0.0
pdf - 908 KB

3D模型

P-62x.Z 3-D模型

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