P-630 高动态压电陶瓷纳米定位系统

单轴、大孔径

谐振频率达3.25 千赫兹
行程达80 微米
狭窄扁平设计
直径为30 毫米的通孔尺寸

P-630, dimensions in mm

The smallest resolvable step size of the P-630.XCD is below one nm with the E-753.1CD digital controller. Measured externally with a laser interferometer.

The settling time of the P-630.XCD is less than 6 milliseconds to 1 % accuracy and a 4 µm step.

P-630, dimensions in mm

The smallest resolvable step size of the P-630.XCD is below one nm with the E-753.1CD digital controller. Measured externally with a laser interferometer.

P-630，尺寸单位为毫米

实现1%的精度和4微米步进时，P-630.XCD的稳定时间小于6毫秒。

光学对准
显微镜
生物技术
光子
光纤定位

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

下载数据表转至规格

数据表

版本/日期

2018-04-16

pdf - 687 KB

版本/日期

2018-04-13

pdf - 848 KB

版本/日期

2018-06-08

pdf - 770 KB

版本/日期

2018-06-08

pdf - 846 KB

下载

	P-630.XCD	P-631.XCD	单位
主动轴	X	X
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式
-20至120 伏时的开环行程	45	90	微米
行程，闭环	40	80	微米
分辨率，开环	0.1	0.1	纳米
分辨率，闭环	0.2	0.2	纳米
线性误差，闭环	0.02	0.02	%
全行程范围内的重复性	±2	±3	纳米
螺距/偏转角	±5	±5	微弧度
直线度/平面度	50	50	纳米
机械特性
运动方向上的刚性	5.5	5	牛/微米
谐振频率，空载	3250	2850	赫兹
带60 克负载时的谐振频率	1600	1200	赫兹
运动方向上的推/拉力	10	10	牛
负载容量	10	10	牛
驱动特性
压电陶瓷	PICMAP-887	PICMAP-885；P-887
电容	6.4	12.6	微法
其他
工作温度范围	0 到 40	0 到 40	°C
材料	铝	铝
尺寸	102 毫米 × 50 毫米 × 18 毫米	102 毫米 × 50 毫米 × 18 毫米
质量	300	320	克
电缆长度	1.5	1.5	米
传感器/电压连接	Sub-D 7W2（公头）	Sub-D 7W2（公头）
推荐电控	E-709、E-709.CHG、E-754	E-709、E-709.CHG、E-754