P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪

直接位置测量和通光孔径

P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪
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  • 行程100微米
  • 带电容式传感器的直接计量
  • 分辨率达0.3纳米,闭环
  • 通孔尺寸50毫米×50毫米
  • 可提供带附加自由度的其他版本
  • 可提供XY和XYZ版本
  • 可提供真空兼容版本

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 表面测量技术
  • 纳米压印
  • 显微操纵
  • 图像处理/稳定
  • 高运动平面度和直线度的纳米定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

数据表P-733.Z

版本/日期
2018-04-20
版本/日期
2018-04-20
版本/日期
2018-09-03
版本/日期
2018-09-03
文件语言
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
pdf - 831 KB
pdf - 754 KB

下载

数据表

数据表P-733.Z

版本/日期
2018-04-20
版本/日期
2018-04-20
版本/日期
2018-09-03
版本/日期
2018-09-03
文件语言
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pdf - 831 KB
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文件

简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

3D模型

P-733.Z 3-D模型

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