P-753 LISA线性促动器和平台

位置动态稳定

P-753 LISA线性促动器和平台
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  • 同时为平台和促动器提供导向
  • 行程达38 微米
  • 分辨率 0.05 nm
  • 可提供非磁性版本
  • 直接驱动可实现极其快速的响应行为
  • 电容式传感器带来最高线性度

描述

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 测量技术
  • 测试程序和质量保证
  • 光子
  • 光纤定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

PICMA直接驱动可实现更高刚性和动态

带直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移,带PICMA直接驱动的压电陶瓷纳米定位器无机械平移。因此可实现快速响应速度,并在压电陶瓷驱动范围内实现最高的刚性和动态。

规格

数据表P-753

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-08
版本/日期
2018-06-08
文件语言
pdf - 836 KB
pdf - 692 KB
pdf - 927 KB
pdf - 1,008 KB

下载

数据表

数据表P-753

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-08
版本/日期
2018-06-08
文件语言
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pdf - 1,008 KB

文件

用户使用手册PZ254

P-753 LISA高动态压电纳米级定位系统
版本/日期
2014-10-13
版本/日期
2014-10-13
文件语言
pdf - 925 KB
pdf - 891 KB

3D模型

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