柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。
主动轴
X、Y、Z
X、Y向上的行程（±250伏）
1
微米
Z向上的行程（±250伏）
0.6
X、Y向上的分辨率
0.02
纳米
Z向上的分辨率
0.14
X、Y向上的谐振频率
4
千赫兹
Z向上的谐振频率
11
运动方向上的推/拉力
±10
牛
负载容量
工作温度范围
5 到 40
°C
质量
80
克
电缆长度
1.5
米
电压连接
Sub-D 24W7（公头）
推荐电控
E-536
P-313高线性化PicoCobe XYZ定位和扫描系统
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来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。
