P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

高动态纳米定位器/带直接位置测量的扫描器

P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪
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  • 2轴和3轴版本(XY和XYθZ型)
  • 行程达200 微米
  • 亚纳米级分辨率

应用领域

  • 计量
  • 干涉测量
  • 光子学/集成光学
  • 平版印刷术
  • 纳米定位
  • 扫描显微镜
  • 样本对准
  • 微加工

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

规格

数据表P-517 • P-527

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-20
版本/日期
2018-07-02
文件语言
pdf - 605 KB
pdf - 612 KB
pdf - 707 KB
pdf - 786 KB

下载

数据表

数据表P-517 • P-527

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-20
版本/日期
2018-07-02
文件语言
pdf - 605 KB
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文件

简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

用户使用手册PZ82

具有电容传感器的P-517、P-518、P-527、P-528、P-558压电纳米定位系统
版本/日期
2013-09-05
版本/日期
2013-09-05
文件语言
pdf - 939 KB
pdf - 938 KB

3D模型

P-5x7 3-D模型

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