P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台

主动轴

Z

Z, θ_X, θ_Y

Z

Z, θ_X, θ_Y

Z

Z, θ_X, θ_Y

集成传感器

电容式

电容式

应变片传感器

应变片传感器

–

–

-20至120 伏时Z向上的开环行程

150

150

150

150

150

150

微米

+20 % / -0 %

θ_X、θ_Y向上-20至120 伏时的开环偏摆角

–

±0.6

–

±0.6

–

±0.6

毫弧度

+20 % / -0 %

Z向上的闭环行程

100

100

100

100

–

–

微米

θ_X、θ_Y向上的闭环偏摆角

–

±0.4

-

±0.4

–

–

毫弧度

Z向上的分辨率，开环

0.2

0.2

0.2

0.2

0.2

0.2

纳米

典型值

θ_X、θ_Y向上的开环分辨率

–

0.02

–

0.02

–

0.02

微弧度

典型值

Z向上的闭环分辨率

0.5

0.5

2.5

2.5

–

–

纳米

典型值

θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率

–

0.08

–

0.25

–

–

微弧度

典型值

Z、θ_X、θ_Y向上的线性误差

0.03

0.03

0.2

0.2

–

–

%

典型值

Z向上的重复精度

<2

<2

<10

<10

–

–

纳米

典型值

θ_X、θ_Y向上的重复精度

–

0.01

–

0.05

–

–

微弧度

典型值

θ_X、θ_Y向上的串扰（Z向运动）

±15

±15

±15

±15

±15

±15

微弧度

典型值

Z向上的刚性

0.8

0.8

0.8

0.8

0.8

0.8

牛/微米

±20 %

Z向上的空载谐振频率

410

410

410

410

410

410

赫兹

±20 %

θ_X、θ_Y向上的空载谐振频率

–

330

–

330

–

330

赫兹

±20 %

负载200克时Z向上的谐振频率

250

250

250

250

250

250

赫兹

±20 %

负载200克时θ_X、θ_Y向上的谐振频率

–

270

–

270

–

270

赫兹

±20 %

推/拉力大小

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

50 / 20

牛

最大

陶瓷类型

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

PICMAP-885

电容

6.3

6.3

6.3

6.3

6.3

6.3

微法

±20 %

工作温度范围

20 到 80

20 到 80

20 到 80

20 到 80

20 到 80

20 到 80

°C

材料

铝

铝

铝

铝

铝

铝

质量

750

750

730

730

700

700

克

±5 %

电缆长度

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

米

±10 毫米

传感器连接

Sub-D 7W2（公头）

Sub-D25W3（公头）

LEMO

3 × LEMO

–

–

电压连接

Sub-D 7W2（公头）

Sub-D25W3（公头）

LEMO

3 × LEMO

LEMO

3 × LEMO

推荐电控

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754

E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754