P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台
低外形,大孔径
- 低外形用于实现简易集成:16.5毫米
- 通孔尺寸80 毫米×80 毫米
- 行程达150微米
- 偏摆角达1.2毫弧度
- 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
- 传感器技术:便宜的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 可与显微镜平台组合实现更长行程
应用领域
- 扫描显微镜
- 超分辨率显微镜
- 生物技术
- 掩模/晶圆定位
- 样本定位
- 干涉测量
- 计量
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
规格
该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。规格
P-541.ZCD | P-541.TCD* | P-541.ZSL | P-541.TSL* | P-541.Z0L | P-541.T0L* | 单位 | 公差 | |
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主动轴 | Z | Z, θX, θY | Z | Z, θX, θY | Z | Z, θX, θY | ||
运动和定位 | ||||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 应变片传感器 | 应变片传感器 | – | – | ||
-20至120 伏时Z向上的开环行程 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 150 | 微米 | +20 % / -0 % |
θX、θY向上-20至120 伏时的开环偏摆角 | – | ±0.6 | – | ±0.6 | – | ±0.6 | 毫弧度 | +20 % / -0 % |
Z向上的闭环行程 | 100 | 100 | 100 | 100 | – | – | 微米 | |
θX、θY向上的闭环偏摆角 | – | ±0.4 | - | ±0.4 | – | – | 毫弧度 | |
Z向上的分辨率,开环 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的开环分辨率 | – | 0.02 | – | 0.02 | – | 0.02 | 微弧度 | 典型值 |
Z向上的闭环分辨率 | 0.5 | 0.5 | 2.5 | 2.5 | – | – | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的闭环分辨率 | – | 0.08 | – | 0.25 | – | – | 微弧度 | 典型值 |
Z、θX、θY向上的线性误差 | 0.03 | 0.03 | 0.2 | 0.2 | – | – | % | 典型值 |
Z向上的重复精度 | <2 | <2 | <10 | <10 | – | – | 纳米 | 典型值 |
θX、θY向上的重复精度 | – | 0.01 | – | 0.05 | – | – | 微弧度 | 典型值 |
θX、θY向上的串扰(Z向运动) | ±15 | ±15 | ±15 | ±15 | ±15 | ±15 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 | ||||||||
Z向上的刚性 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 0.8 | 牛/微米 | ±20 % |
Z向上的空载谐振频率 | 410 | 410 | 410 | 410 | 410 | 410 | 赫兹 | ±20 % |
θX、θY向上的空载谐振频率 | – | 330 | – | 330 | – | 330 | 赫兹 | ±20 % |
负载200克时Z向上的谐振频率 | 250 | 250 | 250 | 250 | 250 | 250 | 赫兹 | ±20 % |
负载200克时θX、θY向上的谐振频率 | – | 270 | – | 270 | – | 270 | 赫兹 | ±20 % |
推/拉力大小 | 50 / 20 | 50 / 20 | 50 / 20 | 50 / 20 | 50 / 20 | 50 / 20 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | ||||||||
陶瓷类型 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
电容 | 6.3 | 6.3 | 6.3 | 6.3 | 6.3 | 6.3 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||||||
工作温度范围 | 20 到 80 | 20 到 80 | 20 到 80 | 20 到 80 | 20 到 80 | 20 到 80 | °C | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 750 | 750 | 730 | 730 | 700 | 700 | 克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器连接 | Sub-D 7W2(公头) | Sub-D25W3(公头) | LEMO | 3 × LEMO | – | – | ||
电压连接 | Sub-D 7W2(公头) | Sub-D25W3(公头) | LEMO | 3 × LEMO | LEMO | 3 × LEMO | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 | E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754 |
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