P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台

低外形，大孔径

低外形用于实现简易集成：16.5毫米
通孔尺寸80 毫米×80 毫米
行程达150微米
偏摆角达1.2毫弧度
并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
传感器技术：便宜的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
可与显微镜平台组合实现更长行程

P-541.Z / P-541.T，尺寸单位为毫米

扫描显微镜
超分辨率显微镜
生物技术
掩模/晶圆定位
样本定位
干涉测量
计量

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

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	P-541.ZCD	P-541.TCD*	P-541.ZSL	P-541.TSL*	P-541.Z0L	P-541.T0L*	单位	公差
主动轴	Z	Z, θ_X, θ_Y	Z	Z, θ_X, θ_Y	Z	Z, θ_X, θ_Y
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式	应变片传感器	应变片传感器	–	–
-20至120 伏时Z向上的开环行程	150	150	150	150	150	150	微米	+20 % / -0 %
θ_X、θ_Y向上-20至120 伏时的开环偏摆角	–	±0.6	–	±0.6	–	±0.6	毫弧度	+20 % / -0 %
Z向上的闭环行程	100	100	100	100	–	–	微米
θ_X、θ_Y向上的闭环偏摆角	–	±0.4	-	±0.4	–	–	毫弧度
Z向上的分辨率，开环	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的开环分辨率	–	0.02	–	0.02	–	0.02	微弧度	典型值
Z向上的闭环分辨率	0.5	0.5	2.5	2.5	–	–	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的闭环分辨率	–	0.08	–	0.25	–	–	微弧度	典型值
Z、θ_X、θ_Y向上的线性误差	0.03	0.03	0.2	0.2	–	–	%	典型值
Z向上的重复精度	<2	<2	<10	<10	–	–	纳米	典型值
θ_X、θ_Y向上的重复精度	–	0.01	–	0.05	–	–	微弧度	典型值
θ_X、θ_Y向上的串扰（Z向运动）	±15	±15	±15	±15	±15	±15	微弧度	典型值
机械特性
Z向上的刚性	0.8	0.8	0.8	0.8	0.8	0.8	牛/微米	±20 %
Z向上的空载谐振频率	410	410	410	410	410	410	赫兹	±20 %
θ_X、θ_Y向上的空载谐振频率	–	330	–	330	–	330	赫兹	±20 %
负载200克时Z向上的谐振频率	250	250	250	250	250	250	赫兹	±20 %
负载200克时θ_X、θ_Y向上的谐振频率	–	270	–	270	–	270	赫兹	±20 %
推/拉力大小	50 / 20	50 / 20	50 / 20	50 / 20	50 / 20	50 / 20	牛	最大
驱动特性
陶瓷类型	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885
电容	6.3	6.3	6.3	6.3	6.3	6.3	微法	±20 %
其他
工作温度范围	20 到 80	20 到 80	20 到 80	20 到 80	20 到 80	20 到 80	°C
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝
质量	750	750	730	730	700	700	克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器连接	Sub-D 7W2（公头）	Sub-D25W3（公头）	LEMO	3 × LEMO	–	–
电压连接	Sub-D 7W2（公头）	Sub-D25W3（公头）	LEMO	3 × LEMO	LEMO	3 × LEMO
推荐电控	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754	E-503、E-505、E-610、E-621、E-625、E-712、E-727、E-754