P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台

低外形,大孔径

P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台
产品描述 规格 下载 报价/订购
  • 低外形用于实现简易集成:16.5毫米
  • 通孔尺寸80 毫米×80 毫米
  • 行程达150微米
  • 偏摆角达1.2毫弧度
  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • 传感器技术:便宜的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 可与显微镜平台组合实现更长行程

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 超分辨率显微镜
  • 生物技术
  • 掩模/晶圆定位
  • 样本定位
  • 干涉测量
  • 计量

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计,可实现快速、动态和精密的运动。

规格

数据表P-541.Z

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-06
版本/日期
2018-07-10
文件语言
pdf - 600 KB
pdf - 607 KB
pdf - 701 KB
pdf - 784 KB

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数据表

数据表P-541.Z

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-06
版本/日期
2018-07-10
文件语言
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文件

简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

3D模型

P-541.Z 3-D模型

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