P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

用于多达3轴的高精度纳米定位系统

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台
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  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • 行程达300 × 300 × 300微米
  • 电容式传感器带来最高线性度
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • 优异的扫描平面度
  • 高动态XYZ版本
  • 通孔尺寸66 毫米×66毫米
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 超高真空版本达10-9百帕

描述

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 干涉测量
  • 测量技术
  • 生物技术
  • 扫描和筛选

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

数据表P-561 • P-562 • P-563

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-20
版本/日期
2018-07-02
文件语言
pdf - 762 KB
pdf - 764 KB
pdf - 856 KB
pdf - 932 KB

下载

数据表

数据表P-561 • P-562 • P-563

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-20
版本/日期
2018-07-02
文件语言
pdf - 762 KB
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pdf - 856 KB
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文件

简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

用户使用手册PZ248

P-561、P-562、P-563 PIMars XYZ纳米级定位系统
版本/日期
2013-11-22
版本/日期
2013-11-22
文件语言
pdf - 947 KB
pdf - 972 KB

3D模型

P-56x 3-D模型

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P-561.3DD
PIMars高动态XYZ向纳米定位系统,45 微米 × 45 微米 × 15 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,直接驱动

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