的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿（取决于带宽）（主动导向）。即使在动态操作中，跟踪精度也可高达纳米级。
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。
主动轴
X，Y，Z，θX，θY，θZ
集成传感器
电容式
X、Y、Z向上的闭环行程
200
微米
θX、θY、θZ向上的闭环偏摆角
±0.5
毫弧度
X、Y、Z向上的闭环分辨率
1
纳米
典型值
θX、θY、θZ向上的闭环分辨率
0.1
微弧度
X、Y和Z向上的线性误差
0.01
%
θX、θY、Z向上的线性误差
X/Y/Z向上的重复精度
±2 / ±2 / ±3
θX/θY/θZ向上的重复精度
±0.1 / ±0.1 / ±0.15
平面度
<15
X/Y/Z向上的空载谐振频率
110 / 110 / 190
赫兹
±20 %
负载能力*
5
千克
最大
陶瓷类型
PICMA
X/Y/Z向上的电容
7.4 / 7.4 / 14.8
微法
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
质量
1.45
±5 %
电缆长度
1.5
米
±10 毫米
传感器/电压连接
2 × Sub-D 25W3（公头）
推荐电控
E-712
P-562.6CD纳米定位器
Unpacking and Packing P-5xx Positioners
P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
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利用多层促动器的制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
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来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
数字技术为提高不存在于传统模拟技术的控制工程的性能开辟了可能性。
电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
在多轴并联系统中，所有促动器直接作用于单一运动平台。
