P-587 六轴精密压电平台

长行程,直接位置测量

P-587 六轴精密压电平台
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  • 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和扫描
  • 线性行程为800 微米×800 微米×200 微米
  • 最大旋转角度达1微弧度
  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • 电容式传感器带来最高线性度
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • 六 自由度主动补偿

描述

应用领域

  • 干涉测量
  • 计量
  • 纳米压印
  • 半导体测试
  • 半导体制造

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

数据表P-587

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-07
文件语言
pdf - 635 KB
pdf - 643 KB
pdf - 728 KB

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数据表

数据表P-587

版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-05-08
版本/日期
2018-06-07
文件语言
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文件

用户使用手册PZ251

具有电容传感器的P-587.6CD六轴纳米级定位系统
版本/日期
2014-03-27
版本/日期
2014-03-27
文件语言
pdf - 720 KB
pdf - 740 KB

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