S-316.10
压电陶瓷Z向偏摆扫描仪；线性行程12µm；旋转范围（θX×θY）1200µrad×1200µrad；SGS，间接位置测量；LEMO LVPZT接头；电缆长度2m
S-316 压电陶瓷Z向偏摆扫描仪
带通光孔的高动态压电陶瓷扫描仪
- 通光孔径10mm
- 三脚式压电陶瓷驱动器
- 线性行程达12µm（移相器）
- 亚毫秒级响应时间
- 亚微弧度级分辨率
- 精度更高的闭环版本
S-316，电缆配置
S-316[H]，尺寸单位为mm 符合DIN ISO 2768-f-H的通用公差适用于所有非容许尺寸。 请注意，在图中使用逗号代表小数点。
S-316 压电陶瓷Z向偏摆扫描仪
产品描述
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应用领域
- 图像处理/稳定性
- 激光扫描/光束偏转
- 激光调谐
- 光学过滤器/开关
- 光束稳定
- 干涉测量
PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。 这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。 PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。 它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
零间隙的柔性铰链导向机构带来高导向精度
柔性铰链导向机构无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。 其刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 其可在较宽的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。 所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。 每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。 所有轴均具有极小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。
规格
规格
| 运动 | S-316.10 | S-316.10H | 公差 |
|---|---|---|---|
| 主动轴 | Z ǀ θX ǀ θY | Z ǀ θX ǀ θY | |
| Z向的行程 | 12 µm | 12 µm | |
| Z向的开环行程 | 12 µm | 12 µm | +20 % / -0 % |
| θX向的旋转范围 | 1200 µrad | 1200 µrad | |
| θY向的旋转范围 | 1200 µrad | 1200 µrad | |
| θX向的开环旋转范围 | 1200 µrad | 1200 µrad | +20 % / -0 % |
| θY向的开环旋转范围 | 1200 µrad | 1200 µrad | +20 % / -0 % |
| Z向的线性误差 | 0.2 % | 0.2 % | typ. |
| θX向的线性误差 | 0.2 % | 0.2 % | typ. |
| θY向的线性误差 | 0.2 % | 0.2 % | typ. |
| 定位 | S-316.10 | S-316.10H | 公差 |
| Z向的开环分辨率 | 0.2 nm | 0.2 nm | typ. |
| θX向的开环分辨率 | 0.05 µrad | 0.05 µrad | typ. |
| θY向的开环分辨率 | 0.05 µrad | 0.05 µrad | typ. |
| 集成传感器 | 应变片传感器，间接位置测量 | 应变片传感器，间接位置测量 | |
| Z向的系统分辨率 | 0.4 nm | 0.4 nm | |
| θX向的系统分辨率 | 0.1 µrad | 0.1 µrad | |
| θY向的系统分辨率 | 0.1 µrad | 0.1 µrad | |
| 驱动性能 | S-316.10 | S-316.10H | 公差 |
| 驱动类型 | PICMA | PICMA | |
| Z向的电容 | 0.31 µF | 0.31 µF | ±20 % |
| θX向的电容 | 0.31 µF | 0.31 µF | ±20 % |
| θY向的电容 | 0.31 µF | 0.31 µF | ±20 % |
| 机械性能 | S-316.10 | S-316.10H | 公差 |
| Z向的刚性 | 10 N/µm | 10 N/µm | ±20 % |
| 在带玻璃反射镜（直径15mm；厚度4mm）的负载下X向的谐振频率 | 4.1 kHz | 4.1 kHz | ±20 % |
| 在带玻璃反射镜（直径20mm；厚度4mm）的负载下X向的谐振频率 | 3.4 kHz | 3.4 kHz | ±20 % |
| Z向的谐振频率，空载 | 5.5 kHz | 5.5 kHz | ±20 % |
| 在带玻璃反射镜（直径15mm；厚度4mm）的负载下Z向的谐振频率 | 4.1 kHz | 4.1 kHz | ±20 % |
| 在带玻璃反射镜（直径20mm；厚度4mm）的负载下Z向的谐振频率 | 3.4 kHz | 3.4 kHz | ±20 % |
| θX向的惯性力矩，空载 | 150 g·mm² | 150 g·mm² | ±20 % |
| θY向的惯性力矩，空载 | 150 g·mm² | 150 g·mm² | ±20 % |
| 枢轴点至平台表面的距离 | 5 mm | 5 mm | ±0,5 mm |
| 导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | 带杠杆放大的柔性铰链导轨 | |
| 总质量 | 55 g | 55 g | ±5 % |
| 材料 | 钢 | 钢 | |
| 其他 | S-316.10 | S-316.10H | 公差 |
| 工作温度范围 | -20至80 °C | -20至80 °C | |
| 接头 | LEMO LVPZT | D-sub 37（公头） | |
| 传感器连接器 | 应变片传感器的LEMO | — | |
| 电缆长度 | 2 m | 2 m | +100 mm / -0 mm |
| 推荐控制器/驱动器 | E-503、E-505、E-509、E-610、E-625 | E-727 |
因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。
机械倾斜时，光束偏转量为2倍。 为获得最大倾斜范围，三只压电陶瓷促动器均需施加50V偏置电压。 受并联运动结构影响，线性位移与偏摆角度彼此制约。 所标注的数值分别为纯线性运动和纯偏摆运动情况下的最大值。
PI技术数据是在22±3°C环境温度下定义的。除非有特别说明，所有数值均基于无负载的情况。某些性能参数是相互关联的。“typ.”标识 是指属性的统计平均值，并非承诺每个交付产品均达到该数值。在产品交付前的最后检验中，我们只检测选定的属性，而不是全部属性。请注意，产品的某些特性可能会随着使用时间的增长而逐渐下降。
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产品注解
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Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
版本/日期
2021-04-19
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3D模型
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S-316.10H
压电陶瓷Z向偏摆扫描仪；线性行程12µm；旋转范围（θX×θY）1200µrad×1200µrad；SGS，间接位置测量；D-sub 37针接头（公头）；电缆长度2m。
