P-721 PIFOC高精度物镜扫描仪
用于显微镜物镜的快速纳米定位器和扫描仪
- 亚纳米分辨率的物镜精密定位
- 行程达140微米、毫秒稳定时间
- 与机动化驱动器相比,具有明显更快的响应和更长的使用寿命
- 平行柔性铰链导向可实现最小的物镜偏移
- 带电容式传感器的直接测量技术带来最高线性度
- 带应变片传感器的经济型版本
- 与MetaMorph成像软件兼容
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- QuickLock螺纹转接头用于实现便捷安装
- 通孔尺寸达Ø29毫米
应用领域
- 超分辨率显微镜
- 光学圆盘显微镜
- 共聚焦显微镜
- 3D成像
- 筛选
- 干涉测量
- 测量技术
- 自动聚焦系统
- 生物技术
- 半导体测试
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
获得专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的D-sub连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
规格
P-721.CLQ | P-721.CDQ P-721.CDA | P-721.SL2 P-721.SDA | P-721.0LQ | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|---|---|
主动轴 | Z | Z | Z | Z | ||
运动和定位 | ||||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 应变片传感器 | - | ||
-20至+120伏时的开环行程 | 140 | 140 | 140 | 140 | 微米 | +20 % / -0 % |
行程,闭环 | 100 | 100 | 100 | - | 微米 | |
分辨率,开环 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 纳米 | 典型值 |
分辨率,闭环 | 0.7 | 0.7 | 5 | - | 纳米 | 典型值 |
线性误差,闭环 | 0.03 | 0.03 | 0.2 | - | % | 典型值 |
重复精度 | ±5 | ±5 | ±10 | - | 纳米 | 典型值 |
倾斜θX、θY | 13 | 13 | 13 | 13 | 微弧度 | 典型值 |
X、Y向上的串扰 | 100 | 100 | 100 | 100 | 纳米 | 典型值 |
机械特性 | ||||||
运动方向上的刚性 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率,空载 | 580 | 580 | 580 | 550 | 赫兹 | ±20 % |
带120克负载时的谐振频率 | 235 | 235 | 235 | 235 | 赫兹 | ±20 % |
带200克负载时的谐振频率 | 180 | 180 | 180 | 180 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 100 / 20 | 100 / 20 | 100 / 20 | 100 / 20 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | ||||||
陶瓷类型 | PICMAP‑885 | PICMAP‑885 | PICMAP‑885 | PICMAP‑885 | ||
电容 | 3.1 | 3.1 | 3.1 | 3.1 | 微法 | ±20 % |
其他 | ||||||
工作温度范围 | -20至80 | -20至80 | -20至80 | -20至80 | 摄氏度 | |
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 0.24 | 0.24 | 0.22 | 0.22 | 千克 | ±5 % |
物镜直径 | 39 | 39 | 39 | 39 | 毫米 | 最大 |
电缆长度 | 1 | 1 | 1 | 1 | 米 | ±10毫米 |
传感器/电压连接 | LEMO | D-sub 7W2(公头) | LEMO / D-sub 9针(公头) | LEMO(无传感器) | ||
推荐电控 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 | E-505、E-610、E‑621、E-625、E‑665、E-709、E‑754 |
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数据表
文件
3D模型
3-D模型P-721.Cxx
3-D模型P-721.0xx
3-D模型P-721.Sxx
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