的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
主动轴
Z
集成传感器
电容式
应变片传感器
-20至+120 伏时的开环行程
18
微米
+20 % / -0 %
行程，闭环
分辨率，开环
0.2
纳米
典型值
分辨率，闭环
线性误差，闭环
0.04*
0.5
%
重复精度
±1.5
±5
倾斜θX、θY
2
微弧度
X、Y向上的串扰
150
运动方向上的刚性
1.5
牛/微米
±20 %
谐振频率，空载
1180
赫兹
带200克负载时的谐振频率
450
运动方向上的推/拉力
100 / 20
牛
最大
陶瓷类型
PICMAP-887
电容
3.1
微法
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
质量
0.21
千克
±5 %
电缆长度
米
±10 毫米
传感器/电压连接
Sub-D 7W2（公头）
LEMO
推荐电控
E-610、E-625、E-665、E-709.CHG、E-754
PIFOC Portfolio
P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
P-721 Thread Adapters for P-721 / P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
就所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。
通过电子邮件或电话从当地PI销售工程师处快速获取解答。
利用多层促动器的制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
数字技术为提高不存在于传统模拟技术的控制工程的性能开辟了可能性。
电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
