专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
主动轴
Z
集成传感器
电容式
应变片传感器
-20至+120 伏时的开环行程
18
微米
+20 % / -0 %
行程，闭环
分辨率，开环
0.2
纳米
典型值
分辨率，闭环
线性误差，闭环
0.04*
0.5
%
重复精度
±1.5
±5
倾斜θX、θY
2
微弧度
X、Y向上的串扰
150
运动方向上的刚性
1.5
牛/微米
±20 %
谐振频率，空载
1180
赫兹
带200克负载时的谐振频率
450
运动方向上的推/拉力
100 / 20
牛
最大
陶瓷类型
PICMAP-887
电容
3.1
微法
工作温度范围
-20 到 80
°C
材料
铝
质量
0.21
千克
±5 %
电缆长度
米
±10 毫米
传感器/电压连接
Sub-D 7W2（公头）
LEMO
推荐电控
E-610、E-625、E-665、E-709.CHG、E-754
PIFOC Portfolio
P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
P-721 Thread Adapters for P-721 / P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
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利用多层促动器的专利制造工艺实现高度可靠的和更长的使用寿命
来自PI的柔性铰链导向已经证明了其在纳米定位领域的价值。它导向压电陶瓷促动器，并确保无偏摆或侧向偏差的直线运动。
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电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
