PD72Z2x • PD72Z4x PIFOC物镜扫描系统 400微米
高动态压电陶瓷驱动可实现亚纳米分辨率
- 带数字控制器、软件和可选的QuickLock螺纹转接头的整套系统
- USB、RS-232、模拟接口
- 行程达400微米
- 亚纳米级分辨率的物镜精密定位
- 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
- 利用电容传感器进行直接测量
- 可与MetaMorph、µManager和MATLAB兼容
- 所有伺服控制参数可在操作中更改
应用领域
- 显微镜
- 共聚焦显微镜
- 3D成像
- 筛选
- 自动聚焦系统
- 表面分析
- 晶圆检测
- 多光子显微镜
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
用于生产作业快速开始的大量软件
由于支持MATLAB和NI LabVIEW以及所有常规操作系统(Windows、Linux和macOS),集成可在几乎任意环境中快速有效的实现。复杂的编程示例和PIMikroMove等软件工具可大大缩短生产作业的准备时间。
规格
规格
PD72Z2CAA* PD72Z2CAQ** PD72Z2CA0*** | PD72Z4CAA* PD72Z4CAQ** PD72Z4CA0*** | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|
主动轴 | Z | Z | ||
运动和定位 | ||||
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | ||
行程,闭环 | 250 | 400 | 微米 | |
分辨率,闭环 | 1.5 | 2.5 | 纳米 | 典型值 |
线性误差,闭环 | 0.06 | 0.06 | % | 典型值 |
重复精度 | ±5 | ±5 | 纳米 | 典型值 |
倾斜θX | 6 | 10 | 微弧度 | 典型值 |
倾斜θY | 45 | 45 | 微弧度 | 典型值 |
X向上的串扰 | 20 | 60 | 纳米 | 典型值 |
Y向上的串扰 | 40 | 60 | 纳米 | 典型值 |
稳定时间(0.5微米步长、5 %精度、150克) | 15 | 20 | 毫秒 | 典型值 |
机械特性 | ||||
运动方向上的刚性 | 0.17 | 0.12 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率,空载 | 330 | 230 | 赫兹 | ±20 % |
带150克负载时的谐振频率 | 140 | 120 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 100 / 20 | 100 / 20 | 牛 | 最大 |
驱动特性 | ||||
压电陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | ||
其他 | ||||
工作温度范围 | 10至50 | 10至50 | 摄氏度 | |
材料 | 铝 | 铝 | ||
质量 | 0.23 | 0.23 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 米 | +50毫米/-0毫米 |
压电式控制器 | E-709伺服(含在发货范围内) | |||
接口/通信 | USB、RS-232 | |||
输入/输出连接器 | HD D-sub 26 1个模拟量输入0至10伏 1个传感器监控器0至10伏 1个数字输入(LVTTL、可编程) 1个模拟输出 5个数字输出(LVTTL、3个为预定义、2个为可编程) | |||
指令集 | PI General Command Set (GCS) | |||
用户软件 | PIMikroMove | |||
软件驱动器 | NI LabVIEW驱动器,用于Windows的共享资料库和Linux | |||
支持功能 | 波形发生器、数据记录器、自动调零、触发I/O,MATLAB,µManager,MetaMorph | |||
控制器尺寸 | 160毫米× 96毫米× 33毫米 |
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产品注解
数据表
文件
用户使用手册P725T0010
P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
InstallationInstructions P721T0002
P-721 Thread Adapters for P-721 / P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
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