PD72Z1x PIFOC物镜扫描系统 100微米

高动态压电陶瓷驱动可实现亚纳米分辨率

PD72Z1x PIFOC物镜扫描系统 100微米
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  • 带数字控制器、软件和可选的QuickLock螺纹转接头的整套系统
  • USB、RS-232、模拟接口
  • 行程100微米
  • 亚纳米级分辨率的物镜精密定位
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • 利用电容传感器进行直接测量
  • 可与MetaMorph、µManager和MATLAB兼容
  • 所有伺服控制参数可在操作中更改

应用领域

  • 显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 3D成像
  • 筛选
  • 自动聚焦系统
  • 表面分析
  • 晶圆检验

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

用于生产作业快速开始的大量软件

由于支持MATLAB和NI LabVIEW以及所有常规操作系统(Windows、Linux和macOS),集成可在几乎任意环境中快速有效的实现。复杂的编程示例和PIMikroMove等软件工具可大大缩短生产作业的准备时间。

规格

数据表PD72Z1x

版本/日期
2018-09-27
版本/日期
2018-09-27
版本/日期
2018-10-25
文件语言
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
pdf - 885 KB

下载

数据表

数据表PD72Z1x

版本/日期
2018-09-27
版本/日期
2018-09-27
版本/日期
2018-10-25
文件语言
pdf - 1 MB
pdf - 1 MB
pdf - 885 KB

文件

技术说明P721T0007

P-721快速PIFOC®压电陶瓷纳米级Z驱动器
版本/日期
2017-03-29
文件语言 English
pdf - 1 MB

技术说明P721T0002

P-721、P-725 PIFOC®快速锁定线程选项
版本/日期
2018-11-07
版本/日期
2018-11-07
文件语言
pdf - 655 KB
pdf - 608 KB

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PD72Z1CAA
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