P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台

大口径低外形XY纳米定位系统

P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台
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  • 低外形、易于集成:16.5毫米
  • 孔径为80 毫米 × 80 毫米
  • 行程达200 微米 × 200 微米
  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • 高动态直接驱动版本
  • 传感器技术:价格实惠的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 可与显微镜平台组合实现更长行程

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 高吞吐量显微镜
  • 超分辨率显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 干涉测量
  • 测量技术
  • 生物技术
  • 显微操纵

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计,可实现快速、动态和精密的运动。

规格

数据表P-541.2 • P-542.2

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-07-11
版本/日期
2018-06-19
文件语言
pdf - 735 KB
pdf - 1 MB
pdf - 905 KB
pdf - 820 KB

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数据表

数据表P-541.2 • P-542.2

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-07-11
版本/日期
2018-06-19
文件语言
pdf - 735 KB
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文件

简短说明PZ240

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
5.0.0
pdf - 908 KB

用户使用手册PZ244

P-541、P-542 XY大口径纳米级定位系统
版本/日期
2013-03-21
版本/日期
2013-03-21
文件语言
pdf - 687 KB
pdf - 683 KB

显微镜配件概述

PI显微镜样品架和显微镜平台的接装板
版本/日期
2018-05-16
版本/日期
2018-05-16
文件语言
pdf - 138 KB
pdf - 150 KB

3D模型

P-541.2 3-D模型

P-542.2 3-D模型

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