P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统

紧凑型,通光孔径

P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统
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  • 紧凑型:落地面积仅60毫米 × 60毫米
  • 100微米×100微米闭环行程(130微米×130微米,开环)
  • 用于成本敏感型应用
  • 通光孔径20毫米 × 20毫米
  • 更佳的响应和多轴精度:并联运动/计量
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 可提供紧凑型版本

Fields of application

  • Scanning microscopy
  • High-throughput microscopy
  • Super-resolution microscopy
  • Mask/wafer positioning
  • Interferometry
  • Measuring technology
  • Biotechnology
  • Micromanipulation

Outstanding lifetime thanks to PICMA® piezo actuators

The patented PICMA® piezo actuators are all-ceramic insulated. This protects them against humidity and failure resulting from an increase in leakage current. PICMA® actuators offer an up to ten times longer lifetime than conventional polymer-insulated actuators. 100 billion cycles without a single failure are proven.

High guiding accuracy due to zero-play flexure guides

Flexure guides are free of maintenance, friction, and wear, and do not require lubrication. Their stiffness allows high load capacity and they are insensitive to shock and vibration. They are 100 % vacuum compatible and work in a wide temperature range.

规格

数据表P-612.2

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
文件语言
pdf - 638 KB
pdf - 970 KB

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数据表

数据表P-612.2

版本/日期
2018-04-16
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2018-04-16
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文件

用户使用手册PZ280

P-612 XY向纳米定位系统和垂直纳米定位台
版本/日期
1.0.0 2017-04-27
版本/日期
1.0.0 2017-04-27
文件语言
pdf - 2 MB
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