P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统

结构紧凑,带孔径

  • 结构紧凑:表面60毫米×60毫米
  • 100微米×100微米闭环行程(130微米×130微米,开环)
  • 用于成本关键型应用
  • 通孔尺寸20毫米×20毫米
  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 也可提供紧凑型版本
P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统
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应用领域

  • 扫描显微镜
  • 高吞吐量显微镜
  • 超分辨率显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 干涉测量
  • 测量技术
  • 生物技术
  • 显微操纵

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

规格

数据表

数据表P-612.2

版本/日期
2018-04-16
pdf - 638 KB
版本/日期
2018-04-16
pdf - 970 KB
版本/日期
2018-06-13
pdf - 720 KB
版本/日期
2018-07-11
pdf - 801 KB

下载

产品注解

产品注解

Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products

版本/日期
2021-04-19
pdf - 377 KB
English

数据表

数据表

数据表P-612.2

版本/日期
2018-04-16
pdf - 638 KB
版本/日期
2018-04-16
pdf - 970 KB
版本/日期
2018-06-13
pdf - 720 KB
版本/日期
2018-07-11
pdf - 801 KB

文件

文件

用户使用手册PZ280

P-612 XY向纳米定位系统和垂直纳米定位台

版本/日期
1.0.0 2017-04-27
pdf - 2 MB
版本/日期
1.0.0 2017-04-27
pdf - 2 MB
文件

简短说明PZ240

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统

版本/日期
6.1.0 10/2019
pdf - 1 MB
版本/日期
6.1.0 10/2019
pdf - 1 MB

3D模型

3D模型

3-D模型P-612.xxL

zip - 179 KB

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