P-628KHFS 具有纳米级平面度的长行程XY压电陶瓷平台

有源Z轴设计提供实时振摆补偿

P-628KHFS 具有纳米级平面度的长行程XY压电陶瓷平台
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  • 闭环行程为800微米×800微米(可达1500微米)
  • 行程平面度<1纳米
  • 高精度,经济实用
  • 分辨率达0.1纳米
  • 定位精度0.02%
  • 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

规格

数据表P-628KHFS

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数据表

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用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
版本/日期
1.1.0 2018-08-07
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1.1.0 2018-08-07
文件语言
pdf - 3 MB
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P-628KHFS

长行程XY纳米定位系统,800微米×800微米,PicoPlane高平面度选项

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