六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,单轴的导向误差却未增加。更高动态,更高可靠性。
带直流齿轮电机
具有最高精度和重复性的定位
科研和工业. 用于光纤校准、显微操纵系统、光学检测设备。
主动轴
X,Y,Z,θX,θY,θZ
X向上的行程*
-8到5.7
毫米
Y向上的行程*
±5.7
Z向上的行程*
±6.7
θX向上的行程*
°
θY向上的行程*
±6.6
θZ向上的行程*
±5.5
促动器设计分辨率
33
纳米
X、Y和Z向上的最小位移
0.5
微米
典型值
θX、θY、θZ向上的最小位移
2 (0.4")
微弧度
X、Y和Z向上的重复性
0.3
θX、θY、θZ向上的重复精度
6
X、Y和Z向上的典型速度
8
毫米/秒
最大
2
负载能力(底板为水平方向)
1.5
千克
工作温度范围
5 到 35
°C
材料
铝
质量
5.8
±5 %
电缆长度
3
米
±10 毫米
推荐控制器
C-887.5x
六足位移台系统:带C-887.5xx控制器的H-xxx六足位移台
6D精密校准和显微操作H-206六足位移台
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六足位移台平台适用于在所有六个自由度(即三根线性轴和三根旋转轴)实现负载的准确定位和校准。
作为光子器件组装领域新兴创新的一个示例,多学科系统集成商TEGEMA B.V. (NL)开发了一种用于光学元件(尤其是光子集成电路(PIC))自动化组装的模块化机器平台。该系统以亚微米级精度工作,由于采用智能架构,因此可以从PIC的研发任务扩展到批量生产。