H-206 六轴对准系统

主动轴

X，Y，Z，θ_X，θ_Y，θ_Z

X向上的行程*

-8到5.7

毫米

Y向上的行程*

±5.7

毫米

Z向上的行程*

±6.7

毫米

θ_X向上的行程*

±5.7

°

θ_Y向上的行程*

±6.6

°

θ_Z向上的行程*

±5.5

°

促动器设计分辨率

33

纳米

X、Y和Z向上的最小位移

0.5

微米

典型值

θ_X、θ_Y、θ_Z向上的最小位移

2 (0.4")

微弧度

典型值

X、Y和Z向上的重复性

0.3

微米

典型值

θ_X、θ_Y、θ_Z向上的重复精度

6

微弧度

典型值

X、Y和Z向上的典型速度

8

毫米/秒

最大

X、Y和Z向上的典型速度

2

毫米/秒

典型值

负载能力（底板为水平方向）

1.5

千克

最大

工作温度范围

5 到 35

°C

材料

铝

质量

5.8

千克

±5 %

电缆长度

3

米

±10 毫米

推荐控制器

C-887.5x