H-850KHLC 用于高负载的精密六足位移台

真空兼容,六轴上的定位均具有微米级精度

H-850KHLC 用于高负载的精密六足位移台
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  • 真空兼容至10-6 百帕
  • 六自由度
  • 负载能力达1500千克
  • 行程范围达340毫米/60度
  • 最小位移为<1微米
  • 驱动器:带减速齿轮的无刷电机
  • 采用矢量算法的复杂控制器

为了六自由度定位高负载,定位系统必须满足特殊要求。H-850KHLC六足位移台可在真空环境中以最高精度校准元件,机械耦合器可适应真空室的特征。

规格

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