H-850KHLC 用于高负载的精密六足位移台

真空兼容,六轴上的定位均具有微米级精度

PI H-850KHLC
真空兼容至10-6 百帕
六自由度
负载能力达1500千克
行程范围达340毫米/60度
最小位移为<1微米
驱动器:带减速齿轮的无刷电机
采用矢量算法的复杂控制器

为了六自由度定位高负载,定位系统必须满足特殊要求。H-850KHLC六足位移台可在真空环境中以最高精度校准元件,机械耦合器可适应真空室的特征。

规格

该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

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