M-850KTVH 真空型六足位移台六轴定位器

用于大温度范围的并联运动系统

M-850KTVH 真空型六足位移台六轴定位器
产品描述 规格 下载
  • 六自由度,可在任意方向工作
  • 真空兼容至10-6 百帕
  • 负载能力为200千克(垂直方向)2000牛顿
  • 重复精度达±1微米
  • 编码器分辨率达5纳米

规格

数据表M-850KTVH

文件语言
pdf - 685 KB
pdf - 684 KB

下载

数据表

数据表M-850KTVH

文件语言
pdf - 685 KB
pdf - 684 KB

技术