M-850KTVH 真空型六足位移台六轴定位器

用于大温度范围的并联运动系统

PI M-850KTVH
六自由度,可在任意方向工作
真空兼容至10-6 百帕
负载能力为200千克(垂直方向)2000牛顿
重复精度达±1微米
编码器分辨率达5纳米

规格

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数据表M-850KTVH

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