N-865 NEXACT® SpaceFAB

六自由度,最高精度,扁平化设计

六自由度
通孔尺寸
传感器分辨率0.5纳米
负载能力为15牛
关机后自锁:节约能量,减少热量产生

PiezoWalk®技术:高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性,而且根据其驱动原理,其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理,PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触,这几个促动器沿一个动轮步进。前馈时,促动器被从动轮处物理提升,几乎不会造成任何磨损。在促动器上相对于动轮施加预载可确保步进驱动器自锁。因此,步进驱动器静止状态下将保持位置,关机时可实现机械稳定(无伺服抖动)。静止状态自锁,无能量消耗,无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发,在对测量数据进行相应处理后,可实现远低于1纳米的位置分辨率。光学非接触式PIOne编码器基于干涉测量原理。其以极高的精度直接在运动平台上进行实际位置测量,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。由于信号周期仅为0.5微米,信号质量高,PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。力导向滚动体保持架防止线性导向蠕变。

有效专利

在压电陶瓷步进驱动器(NEXACT®、NEXLINE®)技术领域,PI拥有以下专利或专利申请:

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

规格

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数据表N-865

2017-05-03
2017-05-03
2017-08-08
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数据表

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