P-911K 超高真空兼容型小型压电六足位移台

即使在强磁场下也能精确定位

P-911K 超高真空兼容型小型压电六足位移台
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  • 超紧凑型
  • 超高真空兼容至10-9百帕
  • 无磁性
  • 超高精度柔性铰链接头
  • 负载能力达1.5公斤
  • 行程达1.5毫米/2度
  • 带NEXLINE®压电步进驱动器

空间节约型并联运动设计可实现低于90毫米的总高度和仅100毫米的直径。NEXLINE®压电步进电机驱动器和集成式增量传感器可在线性轴上确保低至0.1微米的位置分辨率

规格

数据表P-911KNMV

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P-911KNMV

无磁性,带NEXLINE®压电步进驱动器的超高真空兼容型六足位移台,包含控制器