P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统

六自由度高精度纳米定位系统

PI Multi-Axis Piezo Scanner
6个运动轴:3个为线性,3个为旋转
行程达200微米(线性)和1毫弧度(摆角)
更佳的响应和多轴精度:并联运动/计量
带电容式传感器,具有最高线性度和稳定性
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
优异的扫描平面度
通光孔径66毫米 × 66毫米
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
超高真空兼容至10-9 百帕

规格

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数据表P-562.6CD

2015-10-26
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2015-10-26
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3D模型

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P-562.6CD STEP

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