P-587 六轴精密压电平台

长扫描范围,直接位置测量

用于X、Y、Z和θ向上的定位和扫描X, ΘY, ΘZ
线性范围为800微米×800微米×200微米
最大旋转角度达1微弧度
更佳的响应和多轴精度:并联运动/计量
带电容式传感器的直接计量可实现最佳线性度
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
六自由度上的主动轨迹控制

规格

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数据表P-587

2018-02-19
2018-02-19
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2018-02-19
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用户使用手册PZ251

具有电容传感器的P-587.6CD六轴纳米级定位系统
2014-03-27
2014-03-27
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