P-915KWEF 压电六足位移台

精密调整和有源、动态误差校正

负载能力高达1500克
最小位移为1纳米/0.07微弧度
行程范围达70微米
电容式传感器可实现动态扫描和精密定位

高动态参考级六轴定位系统

六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性,动态范围更大,无移动电缆:更稳定、摩擦更小。

带高刚性和高谐振频率的压电陶瓷促动器直接驱动器可实现动态定位。

大功率实时数字式控制器控制驱动轴

电容位置传感器

具有亚纳米精度、大带宽和高稳定性的直接、绝对位置测量

应用

转台轴向振摆、同心度和平稳度的动态优化。防振,精调

规格

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数据表P-915KWEF

2015-03-30
2015-03-30
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P-915KWEF
用于转台角度误差的有源、动态校正的压电六足位移台

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2015-03-30
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