D-510 PISeca电容传感器

具有优异的位置分辨率的单电极传感器

D-510.021，D-510.051和D-510.101，尺寸单位为毫米。请注意，在图中使用逗号而非小数点。。连接器：LEMO FFC00.650.CLA.543，三轴。

D-510.021：由于使用了LEMO连接器，所以便于安装

结合用于信号处理的电控，准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹，却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下。

所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器，以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号，必须单独订购。

除了此处列出的标准传感器外，PI还提供一系列针对特定应用的定制版本，其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。

D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。

工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工。

数据表

版本/日期

2019-10-24

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版本/日期

2019-10-24

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版本/日期

2021-01-19

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	D-510.021	D-510.051	D-510.101
传感器类型	单电极，电容式	单电极，电容式	单电极，电容式

测量精度	D-510.021	D-510.051	D-510.101
标称量程*	20微米	50微米	100微米
标称量程内具有最小测量间隙*	10微米	25微米	50微米
量程扩展5倍后具有最大测量间隙*	150微米	375微米	750微米
静态分辨率**	<量程的0.001%（均方根）	<量程的0.001%（均方根）	<量程的0.001%（均方根）
动态分辨率**	<量程的0.002%（均方根）	<量程的0.002%（均方根）	<量程的0.002%（均方根）
线性误差***	<0.2%	<0.1%	<0.1%

机械特性	D-510.021	D-510.051	D-510.101
传感器有效直径	3.8毫米	6毫米	8.4毫米
传感器有效面积	11.2平方毫米	27.9平方毫米	56.1平方毫米
传感器直径	8毫米	12毫米	20毫米
传感器面积	50.3平方毫米	113.1平方毫米	314.0平方毫米
安装轴直径	8毫米	8毫米	8毫米

其他	D-510.021	D-510.051	D-510.101
工作温度范围	-20至100摄氏度	-20至100摄氏度	-20至100摄氏度
材料	不锈钢	不锈钢	不锈钢
质量	8克 (±5%)	10克 (±5%)	16克 (±5%)
合适的连接电缆	D-891.01x、D-891.02x	D-891.01x、D-891.02x	D-891.01x、D-891.02x
推荐电控	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3