D-015 • D-050 • D-100 电容传感器

亚纳米分辨率位置传感器

PI D-015
用于要求最高精度的应用
量程达1000微米
分辨率达0.01纳米
带数字式控制器,线性误差达0.01%
带宽达10千赫兹
伺服控制器E-509.CxA,与E-500压电控制器系统兼容
定制设计

规格

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数据表D-015 • D-050 • D-100

2015-01-30
2015-01-30
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图纸/图片

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数据表

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数据表D-015 • D-050 • D-100

2015-01-30
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文件

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用户使用手册PZ106

D-015、D-050、D-100电容传感器
2003-11-05
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