D-510 PISeca电容传感器

具有优异的位置分辨率的单电极传感器

D-510 PISeca电容传感器
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  • 非接触式距离测量
  • 绝对位置检测
  • 振动测量
  • 亚纳米级分辨率
  • 灵活的量程
  • 简易集成

电容式位置传感器可实现最高精度和最长使用寿命

结合用于信号处理的电控,准静态应用可实现亚纳米级的分辨率。高动态应用的带宽可提高至高达10千赫兹,却仍然可实现1纳米级的分辨率。线性误差在0.1%以下。

易于操作和集成

所有PISeca传感器头均安装一个LEMO连接器,以便于安装和更换。均匀的轴厚度确保兼容性和灵活性。用于连接至评估电控的电缆提供多种型号,必须单独订购。

定制版本/双电极传感器

除了此处列出的标准传感器外,PI还提供一系列针对特定应用的定制版本,其量程、几何形状或材料等经过了调整以满足客户需求。定制电控也可供货。

D-100系列中的双电极传感器可满足对线性和分辨率的最高要求。

应用领域

工业和科研。半导体制造和检测。纳米测量。有源减振器。精密加工。

规格

数据表D-510

版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-18
文件语言
pdf - 232 KB
pdf - 235 KB
pdf - 684 KB

下载

数据表

数据表D-510

版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-04-13
版本/日期
2018-06-18
文件语言
pdf - 232 KB
pdf - 235 KB
pdf - 684 KB

文件

技术说明D510T0001

D-510 PISeca单电极电容式传感器探头
版本/日期
2011-04-05
文件语言 English
pdf - 176 KB

3D模型

D-510 STEP

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连接电缆