D-E20 • D-E21 单级电容位移传感器(柱状)

大范围量程,(亚)纳米测量分辨率

非接触式测量,可用于多种应用,如测量位移、振动、平面度/直线度、圆度/径向跳动误差、水层厚度等。
绝对位置测量,高线性度
最高可达亚纳米级测量分辨率
量程最大达到5,000微米
安装便利,便于集成
高传感器带宽

电容位移传感器具有极高的测量精度和工作寿命

单极电容传感器是直接测量型位移传感器。电容传感器利用电极面和被测面之间的均匀电场来测量两者之间的电容值变化,从而实现位移测量。非接触测量过程保证了极高的测量分辨率、线性度和高测量带宽。

单极电容传感器和信号处理器配合使用后,可实现最高亚纳米级的测量分辨率和高达5 kHz 的测量带宽。对于高动态测量应用,5 kHz 带宽下的测量分辨率仍然保持在纳米级。电极面和被测面之间的高度平行安装能够使得单极电容传感器获得<0.1%的测量线性度。

护环电极保证了更高的测量线性度

单极电容传感器的电极设计对测量线性度具有较大的影响。传感器采用了先进的护环电极设计,消除了传感器电极边缘的非均匀电场效应,保证了电极面和被测面之间具有一个稳定均匀的电场测量区域,因此大大提高了电容传感器的测量线性度。

高精度加工

为了达到高精度的测量性能,单极电容传感器的不锈钢材质电极面是由严格的加工工艺和加工公差采用金刚石刀具精磨而成的,因此具有极度平整光滑的电极面,在使用过程中请重点保护电极面。

远距离测量

配合信号前置放大器,单极电容传感器和信号处理器之间可实现1.5米到-10米的电缆总长度;配合信号转换器,两者之间的电缆长度可大于10米,满足远距离测量应用的需要。

安装便利,便于集成

所有的柱状型单极电容传感器后端都具有一个LEMO插座,可直接插入电缆进行电信号连接。在安装或者更换柱状型单极电容传感器的时候,可以脱离电缆操作大大便利了安装或拆卸。

线性度测试报告

用户必须同时订购传感器、连接电缆、前置信号放大器/转换器(若需要)和信号处理器。中国PI公司在出厂前会针对所订购的整套系统进行线性度校准,设定线性化因子,增益和偏置等,校准过程中消除了电缆电容的影响,并随货提供用户《线性度测试报告》。

单极电容传感器配合模拟型信号处理器可进行一个量程范围的线性度校准;配合数字型信号处理器可进行两个量程范围的线性度校准并将校准参数存储在处理器中

在线性度校准过程中,中国PI公司使用高精度的Zygo 双频激光干涉仪和高精度的压电陶瓷平移台对电容传感器进行线性度测量和校准

规格

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数据表D-E20 • D-E21

2017-06-14
2017-07-21
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