E-852KOEM PISecaOEM位置传感器

电容式单电极传感器和信号调节器

PI E-852KOEM PISeca
用于PISeca电容式位置传感器的系统解决方案
用于OEM应用时成本效益好
量程为20微米,带宽为3千赫兹
ILS电路优化电容式传感器的线性度

PISeca电容式传感器和信号调节器

具有优异位置分辨率的单电极传感器以及具有固定量程和带宽的OEM电控。极低噪声,优异的长期稳定性。多通道测量的同步性。

测量原理

实际位置的直接、无接触测量(Direktmetrologie)。通过电场测量探头和导电目标表面之间电容的变化,整个过程无物理接触。这种无接触、无摩擦测量不会导致任何磨损和滞后,且能实现很高的相位保真度。

传感器、带宽和量程的客制化应用

E-852KOEM的设计可类似于其他D-510 PISeca传感器。量程为20至500微米,取决于所选PISeca传感器的测量范围。带宽选项:为实现最高精度和亚纳米级分辨率的低噪声测量,其可限制为10赫兹;对于分辨率在1纳米范围的高动态应用,其最大为10千赫兹。


集成线性化系统(ILS)可实现最高精度

ILS补偿传感器与测量表面之间平行度误差的影响,确保最佳的测量线性度,误差低于1%。

应用领域

Halbleiterfertigung / 半导体工业、数据储存、汽车工业、计量、精密加工

规格

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数据表E-852KOEM

2015-01-29
2015-01-29
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订购信息

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这是一个我们技术的可行例子。我们很高兴与您一起开发符合您需求的解决方案。
E-852KOEM
PISeca单电极电容式传感器探头,直径为8毫米,标称范围为20微米,PISeca传感器电缆,2米和用于单电极电容式传感器的信号调节器电控,单通道,OEM模块

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