P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

行程可变的高精度XY向纳米定位系统

行程范围50至1800毫米
分辨率达0.1纳米
定位精度0.02%
带电容式传感器的直接计量
X、XY、Z和XYZ型

规格

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数据表P-620.2 – P-629.2

2018-02-19
2018-02-19
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图纸/图片

PI P-62x.2 Drawing
P-620.2CD
精密PIHeraXY纳米定位系统、50微米×50微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-620.2CL
精密PIHeraXY纳米定位系统、50微米×50微米、直接计量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-621.20L
精密PIHeraXY纳米定位系统、60微米×60微米、开环、LEMO连接器
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P-620.2UD
精密PIHeraXY纳米定位系统、50微米×50微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器,真空兼容至10-9 百帕
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P-621.2CD
精密PIHeraXY纳米定位系统、100微米×100微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-621.2CL
精密PIHeraXY纳米定位系统、100微米×100微米、直接计量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-621.20L
精密PIHeraXY纳米定位系统、120微米×120微米、开环、LEMO连接器
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P-621.2UD
精密PIHeraXY纳米定位系统、100微米×100微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器,真空兼容至10-9 百帕
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P-622.2CD
精密PIHeraXY纳米定位系统、250微米×250微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-622.2CL
精密PIHeraXY纳米定位系统、250微米×250微米、直接计量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-622.20L
精密PIHeraXY纳米定位系统、300微米×300微米、开环、LEMO连接器
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P-622.2UD
精密PIHeraXY纳米定位系统、250微米×250微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器,真空兼容至10-9 百帕
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P-625.2CD
精密PIHeraXY纳米定位系统、500微米×500微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-625.2CL
精密PIHeraXY纳米定位系统、500微米×500微米、直接计量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-625.20L
精密PIHeraXY纳米定位系统、600微米×600微米、开环、LEMO连接器
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P-625.2UD
精密PIHeraXY纳米定位系统、500微米×500微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器,真空兼容至10-9 百帕
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P-628.2CD
精密PIHeraXY纳米定位系统、800微米×800微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-628.2CL
精密PIHeraXY纳米定位系统、800微米×800微米、直接计量、电容式传感器、LEMO连接器
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P-628.20L
精密PIHeraXY纳米定位系统、1000微米×1000微米、开环、LEMO连接器
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P-628.2UD
精密PIHeraXY纳米定位系统、800微米×800微米、直接计量、电容式传感器、Sub-D连接器,真空兼容至10-9 百帕
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P-629.2CD
PIHeraXY压电陶瓷纳米级定位平台、1500微米×1500微米、电容式传感器、Sub-D连接器
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P-629.2CL
PIHeraXY压电陶瓷纳米级定位平台、1500微米×1500微米、电容式传感器、LEMO连接器
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P-629.20L
精密PIHeraXY纳米定位系统、1800微米×1800微米、开环、LEMO连接器
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P-629.2UD
PIHeraXY压电陶瓷纳米级定位平台、1500微米×1500微米、电容式传感器、Sub-D连接器,真空兼容至10-9 百帕
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数据表

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数据表P-620.2 – P-629.2

2018-02-19
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用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
2014-07-15
2014-07-15
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简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
4.0.0 2017-02-06
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3D模型

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P-62x.2 STEP

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