P-628KHFS 具有纳米级平面度的长行程XY压电陶瓷平台

有源Z轴设计提供实时振摆补偿

PI P-628KHFS
闭环行程为800微米×800微米(可达1500微米)
行程平面度<1纳米
高精度,经济实用
分辨率达0.1纳米
定位精度0.02%
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

规格

数据表P-628KHFS

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P-628KHFS

长行程XY纳米定位系统,800微米×800微米,PicoPlane高平面度选项

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数据表

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文件

用户使用手册PZ234

具有电容传感器的P-620、P-621、P-622、P-625、P-628、P-629 PIHera压电陶瓷平台
版本/日期
2014-07-15
版本/日期
2014-07-15
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pdf - 1 MB