A-322 带空气轴承的PIglideHS平面扫描仪

分辨率为1纳米的XY定位系统

扫描应用的完美选择或精密定位
无尘室兼容
行程达500毫米 × 1000毫米
负载容量达245牛
分辨率达1纳米
速度高达2毫米/秒

PIglide参考级XY定位系统

PIglide HS平面扫描仪带磁性线性电机、真空预载和绝对编码器:非接触式无摩擦运动可实现最高精度和可靠性。

绝对编码器

绝对编码器提供明确的位置信息,帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位,提高了操作过程中的效率和安全性。

PIMag®磁力直接驱动

三相磁性直接驱动器在动力传动系统中未使用机械零件,其可直接将驱动力传输至运动平台,且无摩擦。驱动器可实现高速度和高加速度。 无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这样即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。驱动力可任意设定。

定位系统设计用于将产出最大化的同时确保最高精度。桥轴至龙门轴的挠性联轴器可实现侧向解耦,不会牺牲系统的刚性。

利用来自领先制造商的数字控制器,操作可提供高级控制算法,以改善动态性和误差补偿。

附件和可选配件

PIglide过滤器和空气预处理器

额外的轴

机器底座

花岗岩底座板和隔振系统

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用,诸如计量、光子学和精密扫描以及半导体或平板显示器制造中的应用。

由于运动无摩擦,不会形成颗粒,PIglide平台非常适用于无尘室应用。

规格

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数据表A-322

2018-02-01
2018-02-01
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图纸/图片

[Translate to Chinese:] A-322 Drawing

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数据表

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数据表A-322

2018-02-01
2018-02-01
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3D模型

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A-322 STEP

2017-03-03
zip - 32 MB

其它

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白皮书:空气轴承:在您的移动应用中何时使用、何时避免

所有定位平台并非平等建立。作者:Matt Rech,PI
WP4003 2015-09
English
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