M-880 三轴精密定位系统

X、Y和θ向上的并联运动Z 带极高保持力

静负载能力达150公斤
ActiveDrive伺服驱动器
低外形、带并联运动
最小位移达0.75微米
用于传输应用的通光孔径
采用矢量算法的复杂控制器,虚拟转点
广泛软件支持

带无源支路设计的并联运动可建立得非常扁平,特别有益于大表面负载。缩放可用于多达6个运动轴和高达数百公斤的负载

规格

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数据表M-880

2015-01-29
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数据表

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