U-751.24 带压电电机的XY位移平台

低外形和快速、直接位置测量

紧凑型设计:高度仅为32毫米,无丝杠管道或凸缘电机
分辨率为100纳米的直接测量线性编码器
自锁,静止状态下无热量产生,无伺服抖动
通光孔径为78毫米×78毫米(最大位移时为65毫米×65毫米)
非接触式限位和参考点开关

精密级XY位移平台

PILine®平台尤其适合要求快速精密定位的应用。关机后,自锁驱动器保持平台位置的机械稳定。因而可大大减少能量消耗和热量产生。蓄电池驱动或热敏型的低占空比应用可得益于这些特点。轴的位置通过一个编码器和一个光学参考开关测量,该开关允许可靠的可重复运动。压电电机驱动器原理及其电气操作成本低,可定制。

PILine®超声波压电电机

作为PILine®超声波压电电机不可或缺的一部分,压电陶瓷促动器上被施加预载,通过一个耦合元件抵住移动导向转子。在100至200千赫兹的高频交流电压的作用下,压电陶瓷促动器被激发产生超声波谐振。促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动。建立的进给为几纳米每循环;高频率带来高速度。在压电陶瓷促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁。

采用增量编码器实现直接位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。滚动主体架的受迫导向防止滚柱轴承发生蠕变。

有效专利

美国专利号为6,765,335B2

欧洲专利号为1267425B1

应用领域

科研和工业。用于显微镜、生物技术、实验室自动化。可按需提供用于标准光显微镜的特殊版本。

规格

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初步数据表U-751.24

2017-08-03
2017-08-01
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图纸/图片

U-751.24 Drawing

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数据表

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初步数据表U-751.24

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2017-08-01
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文件

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设计说明U751T0001

U-751.24带压电电机的XY位移平台
2016-09-14
English
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简短说明MP121EK

M-66x、M-68x、U-521、U-62x、U-651 PILine®平台
4.3.0 2017-06-23
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用户使用手册MP67

具有PILine®压电电机驱动器的M-686XY位移台
2014-02-14
2014-02-14
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3D模型

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U-751 STEP

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