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P-545.xR8S PInano® XY(Z)压电系统

用于超高分辨率显微镜的低成本纳米级定位系统

  • 压阻式传感器带来高性价比设计
  • 行程达200微米 × 200微米 × 200微米
  • 20毫米的极低外形、易于集成
  • 用于3×1''显微镜载片的通光孔径,嵌入式样本支架
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 亚纳米级的分辨率,毫秒级的快速响应
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P-545.xC8S PInano®Cap XY(Z)压电系统

用于超高分辨率显微镜的电容定位测量

  • 最高的稳定性和重复精度
  • 行程达200微米×200微米×200微米
  • 亚纳米级分辨率
  • 毫秒级的快速响应
  • 低外形、易于集成:20毫米
  • 嵌入式样本支架, 可自由旋转的显微镜换镜旋座
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P-545.3D8S PInano® Trak压电追踪系统

用于高动态显微镜的快速XY(Z)位移台

  • 小于5毫秒的快速响应、亚纳米级的分辨率:非常适用于追踪
  • 行程达70微米×70微米×50微米
  • 20毫米的极低外形、易于集成
  • 嵌入式样本支架,可自由旋转的显微镜换镜旋座
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P-733.2 • P-733.3 XY(Z)压电纳米级定位平台

具有孔径的高精度XY(Z)扫描仪家族

  • X和Y向上的行程达100微米 × 100微米,Z向上的行程达10微米
  • 带电容式传感器,分辨率达0.1纳米
  • 带直接驱动器的高速版本
  • 真空兼容型和无磁性版本
  • 并联运动实现更高动态和更佳多轴精度
  • 并行计量实现主动轨迹控制
  • 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
  • 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用
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P-915KLVS 真空兼容型XYZ压电扫描仪

大通光孔径、高动态和高负载纳米定位器

  • 真空兼容至10-6 百帕
  • 带电容式传感器的直接计量
  • 优异的直线度:振摆小于0.1微弧度
  • 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
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P-611.3 NanoCube® XYZ压电平台

用于纳米级定位和光纤校准的紧凑型多轴压电系统

  • 行程达120微米 × 120微米 × 120微米
  • 超紧凑型:44毫米 × 44毫米 × 44毫米
  • 分辨率达0.2nm
  • 快速响应
  • 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 用于快速扫描
  • 带集成式光纤适配器接口的版本
  • 具有超高性价比的系统
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P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米级定位平台

多达六轴的高精度纳米级定位系统

  • 并联运动/计量可实现更佳的响应和多轴精度
  • 行程范围达300x300x300微米
  • 带电容式传感器,具有最高线性度和稳定性
  • 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
  • 优异的扫描平面度
  • 高动态性XYZ版本可供货,达六自由度的定制版本
  • 通光孔径为66毫米 × 66毫米
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 超高真空兼容型可达10-9 百帕
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P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米级扫描仪

  • 2轴和3轴版本(XY和XYθ型)Z)
  • 行程范围达200 µm
  • 亚纳米级分辨率
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P-363 PicoCube XY(Z)压电扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米级扫描仪

  • 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪
  • 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具
  • 谐振频率为9.8千赫兹
  • 电容式传感器可实现最高精度
  • 并联运动计量可实现导向误差的自动化补偿
  • 分辨率为50皮米
  • 行程为5微米 × 5微米 × 5微米
  • 真空兼容版本
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P-313 PicoCube XY(Z)压电扫描仪

皮米级精度,高带宽,无伺服延迟,用于扫描探针显微镜

  • 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪
  • 分辨率为20皮米,滞后小于1纳米
  • 新型驱动理念,可实现超高带宽、无伺服延迟
  • 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具
  • 谐振频率为4千赫兹(X、Y)、11千赫兹(Z)
  • 行程为1微米×1微米×0.8微米

XYZ Piezo Flexure Scanners