P-313 PicoCube XY(Z)压电扫描仪

皮米级精度,高带宽,无伺服延迟,用于扫描探针显微镜

P-313 PicoCube XY(Z)压电扫描仪
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  • 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪
  • 分辨率为20皮米,滞后小于1纳米
  • 新型驱动理念,可实现超高带宽、无伺服延迟
  • 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具
  • 谐振频率为4千赫兹(X、Y)、11千赫兹(Z)
  • 行程为1微米×1微米×0.8微米

Fields of application

  • Scanning probe microscopy
  • Atomic force microscopy
  • Scanning and screening

High guiding accuracy due to zero-play flexure guides

Flexure guides are free of maintenance, friction, and wear, and do not require lubrication. Their stiffness allows high load capacity and they are insensitive to shock and vibration. They are 100 % vacuum compatible and work in a wide temperature range.

High dynamics multi-axis operation due to parallel kinematics

In a parallel-kinematic multi-axis system, all actuators act on a common platform. The minimum mass inertia and the identical design of all axes allow fast, dynamic, and nevertheless precision motion.

规格

数据表P-313

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
文件语言
pdf - 577 KB
pdf - 584 KB

下载

数据表

数据表P-313

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
文件语言
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文件

用户使用手册P313T0001

P-313高线性化PicoCobe XYZ定位和扫描系统
版本/日期
2018-01-10
文件语言 English
pdf - 1 MB

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