P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米级扫描仪

2轴和3轴版本(XY和XYθ型)Z)
行程范围达200 µm
亚纳米级分辨率

Fields of application

  • Metrology
  • Interferometry
  • Photonics / integrated optics
  • Lithography
  • Nanopositioning
  • Scanning microscopy
  • Sample alignment
  • Micromachining

 

规格

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数据表P-517 • P-527

2018-02-19
2018-02-19
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图纸/图片

[Translate to Chinese:] PI P-571 Drawing
P-517.2CL
精密XY纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容式传感器,并联计量,LEMO连接器
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P-517.2CD
精密XY纳米定位系统,100微米 × 100微米,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
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P-527.2CL
精密XY纳米定位系统,200微米 × 200微米,电容式传感器,并联计量,LEMO连接器
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P-527.2CD
精密XY纳米定位系统,200微米 × 200微米,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
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P-517.3CL
精密XYZ纳米定位系统,100微米 × 100微米 × 20微米,电容式传感器,并联计量,LEMO连接器
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P-517.3CD
精密XYZ纳米定位系统,100微米 × 100微米 × 20微米,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
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P-527.3CD
精密XYZ纳米定位系统,200微米 × 200微米 × 20微米,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
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P-517.RCD
精密XY/旋转纳米定位系统,100微米 × 100微米,2微弧度,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
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P-527.RCD
精密XY/旋转纳米定位系统,200微米 × 200微米,4微弧度,电容式传感器,并联计量,Sub-D连接器
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数据表

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数据表P-517 • P-527

2018-02-19
2018-02-19
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文件

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简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
4.0.0 2017-02-06
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用户使用手册PZ82

具有电容传感器的P-517、P-518、P-527、P-528、P-558压电纳米定位系统
2013-09-05
2013-09-05
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3D模型

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P-5x7 STEP

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