P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米级定位平台

多达六轴的高精度纳米级定位系统

并联运动/计量可实现更佳的响应和多轴精度
行程范围达300x300x300微米
带电容式传感器,具有最高线性度和稳定性
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
优异的扫描平面度
高动态性XYZ版本可供货,达六自由度的定制版本
通光孔径为66毫米 × 66毫米
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
超高真空兼容型可达10-9 百帕

规格

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数据表P-561 • P-562 • P-563

2017-05-08
2017-05-08
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图纸/图片

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数据表

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数据表P-561 • P-562 • P-563

2017-05-08
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文件

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简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
4.0.0 2017-02-06
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用户使用手册PZ248

P-561、P-562、P-563 PIMars XYZ纳米级定位系统
2013-11-22
2013-11-22
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3D模型

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P-56x STEP

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