P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XY扫描仪

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器
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  • X和Y向上的行程达100微米×100微米
  • 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
  • 带直接驱动器的高速版本
  • 可提供真空兼容和非磁性版本
  • 并联运动实现更高精度和动态
  • 导向误差主动补偿的并行计量
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 表面测量技术
  • 纳米压印
  • 显微操纵
  • 图像处理/稳定
  • 高运动平面度和直线度的纳米定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计,可实现快速、动态和精密的运动。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

数据表P-733.2

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-06-14
版本/日期
2018-07-11
文件语言
pdf - 618 KB
pdf - 626 KB
pdf - 728 KB
pdf - 809 KB

下载

数据表

数据表P-733.2

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-06-14
版本/日期
2018-07-11
文件语言
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文件

用户使用手册PZ103

具有电容传感器的P-733、P-734压电陶瓷纳米级定位系统
版本/日期
2012-12-10
版本/日期
2012-12-10
文件语言
pdf - 858 KB
pdf - 863 KB

简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
版本/日期
4.0.0 2017-02-06
pdf - 635 KB

显微镜配件概述

PI显微镜样品架和显微镜平台的接装板
版本/日期
2018-05-16
版本/日期
2018-05-16
文件语言
pdf - 138 KB
pdf - 150 KB

3D模型

P-733 STEP

报价/订购

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带直接驱动器

带Sub-D连接器(公头)的版本

带LEMO连接器的版本

配件

线性定位器,真空兼容达10-9百帕