P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XYZ扫描仪

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器
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  • X和Y向上的行程达100微米 × 100微米,Z向上的行程达10微米
  • 电容式传感器使分辨率达0.1纳米
  • 带直接驱动器的高速版本
  • 超高真空兼容和非磁性版本
  • 并联运动实现更高精度和动态
  • 导向误差主动补偿的并行计量
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • 50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 掩模/晶圆定位
  • 表面测量技术
  • 纳米压印
  • 显微操纵
  • 图像处理/稳定
  • 高运动平面度和直线度的纳米定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

带电容式传感器,实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度

各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

规格

数据表P-733.3

版本/日期
2018-04-16
版本/日期
2018-04-16
文件语言
pdf - 624 KB
pdf - 632 KB

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数据表

数据表P-733.3

版本/日期
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带直接驱动器

P-733.3DD
高动态精密XYZ向纳米定位系统,30 微米 × 30 微米 × 10 微米,直接驱动,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器

带Sub-D连接器(公头)的版本

带LEMO连接器的版本

线性定位器,真空兼容达10-9百帕