P-915KLVS 真空兼容型XYZ压电扫描仪

大通光孔径、高动态和高负载纳米定位器

真空兼容至10-6 百帕
带电容式传感器的直接计量
优异的直线度:振摆小于0.1微弧度
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统

规格

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数据表P-915KLVS

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P-915KLVS
具有大通光孔径的XYZ纳米级定位系统,100微米 × 100微米 × 100微米,直接计量,电容式传感器,真空兼容至10-6 百帕

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