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P-T03 • P-T04 • P-T54 快速Tip/Tilt偏摆镜,摆台

主动光学

  • 带通用支点正交并联机构偏摆轴
  • 调节光程线性轴可选
  • 紧凑型设计
  • 针对高精度应用,应变片传感器可选
  • 无摩擦,柔性铰链机构回程差为零
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S-335 快速偏摆台

较短稳定时间和高动态线性化

  • 偏摆角度达35毫弧度,光学偏转角度高达70毫弧度(4度)
  • 高谐振频率实现动态运动,快速步进和稳定
  • 并联运动设计:两条正交偏摆轴,一个公共旋转中心
  • 应变传感器实现高线性度
  • 可提供不同版本:不带反射镜、½"反射镜、1"反射镜
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S-331 快速偏摆台

较短稳定时间和高动态线性化

  • 偏摆角度高达5毫弧度,光学偏转角度高达10毫弧度(0.57度)
  • 并联运动设计可实现两条偏摆轴具有同样的高性能特点
  • 高谐振频率实现动态运动,快速步进和稳定
  • 位置传感器实现高线性度
  • 用于直径高达12.7毫米(0.5")的反射镜
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S-340 压电偏摆台

高动态,用于直径长达75毫米(3英寸)的反射镜和光学元件

  • 分辨率高达20微弧度,优异的位置稳定性
  • 光束偏转达4毫弧度
  • 并联运动实现更高精度和动态
  • 亚微秒级响应时间
  • 用于直径长达75 毫米(3英寸)的反射镜;根据要求直径可达100 毫米(4英寸)
  • 闭环版本可实现更佳的线性度
  • 优异的温度稳定性
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S-325 压电陶瓷Z向/偏摆平台

用于反射镜和光学元件的高动态三脚系统

  • 光束偏转达10毫弧度
  • 分辨率达50纳弧度
  • 线性行程达30微米(用于运行时调整)
  • 紧凑型三脚设计
  • 亚微秒级响应时间
  • 闭环版本可实现更高精度
  • 用于直径长达25 毫米(1英寸)的反射镜
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • 并联运动实现更高精度和动态
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S-310 • S-316 压电Z向/偏摆扫描仪

带孔径的高动态系统

  • 通光孔径为10毫米
  • 三脚压电陶瓷驱动
  • 线性行程达12微米(移相器)
  • 亚微秒级响应时间
  • 亚纳弧度级分辨率
  • 闭环版本可实现更高精度
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S-303 压电移相器

带直接计量选项的高速压电移相器

  • 谐振频率为25千赫兹,可实现亚毫秒级的动态
  • 电容式传感器选项可实现最高的线性度和稳定性
  • 行程为3微米
  • 紧凑尺寸:直径为30毫米×10毫米
  • 带孔径的开环版本
  • 殷钢选项可实现最高的热稳定性
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S-224 • S-226 高速偏摆镜结合最高动态和紧凑设计

  • 光束偏转达4.4毫弧度
  • 亚毫弧度级分辨率
  • 亚微秒级响应时间
  • 无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
  • 包含BK7反射镜
  • 可选配位置传感器
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
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P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台

低外形,大孔径

  • 低外形用于实现简易集成:16.5毫米
  • 通孔尺寸80 毫米×80 毫米
  • 行程达150微米
  • 偏摆角达1.2毫弧度
  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • 传感器技术:便宜的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 可与显微镜平台组合实现更长行程
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P-518 • P-528 • P-558 压电陶瓷Z向/偏摆平台

高动态,带大通光孔径

  • 三轴Z向和偏摆平台 / 单轴Z向位移台
  • 垂直偏摆角达200微米/2毫弧度,闭环(开环达240 微米/2.4 毫弧度)
  • 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
  • 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
  • PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
  • 通光孔径为66 毫米 × 66 毫米
  • 电容式传感器带来最高线性度
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S-330 压电偏摆台

高动态,带大偏转角用于反射镜和光学元件

  • 分辨率达20纳弧度
  • 优异的位置稳定性
  • 光束偏转达20毫弧度(>1度)
  • 并联运动实现更高精度和动态和全桥应变片传感器
  • 亚微秒级响应时间
  • 用于直径长达50 毫米的反射镜

Z-Tip-Tilt Piezo Platforms