P-541.Z 压电Z和Z/偏/摆平台

低外形,大孔径

16.5毫米的极低外形、易于集成
通光孔径80 mm × 80 mm
垂直和Z/偏/摆平台
行程100µm
偏角为1毫弧度
更佳的响应和多轴精度:并联运动/计量
传感器的选择:应变片传感器(成本更低)或电容式传感器(性能更高)
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
与长行程显微镜平台组合实现更长行程

Fields of application

  • Scanning microscopy
  • Super-resolution microscopy
  • Biotechnology
  • Mask/wafer positioning
  • Sample positioning
  • Interferometry
  • Metrology

 

规格

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数据表P-541.Z

2018-02-19
2018-02-19
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图纸/图片

[Translate to Chinese:] PI P-541.Z Drawing

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数据表

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数据表P-541.Z

2018-02-19
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文件

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简短说明PZ240EKDK

P-5xx、P-6xx、P-7xx压电陶瓷定位系统
4.0.0 2017-02-06
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3D模型

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P-541.Z STEP

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