S-310 – S-316 压电Z向/偏摆扫描仪

带通光孔径的高速系统

PI S-310
通光孔径为10毫米
压电陶瓷三脚设计
光束偏转达2.4毫弧度
活塞运动长达12微米(移相器)
亚微秒级响应时间
亚纳弧度级分辨率
闭环版本可实现更高精度
用于光学元件、反射镜或其他部件
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
并联运动实现更高动态和更佳多轴精度

规格

数据表S-310 – S-316

版本/日期
2015-02-02
版本/日期
2015-02-02
文件语言
pdf - 803 KB
pdf - 793 KB

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数据表

数据表S-310 – S-316

版本/日期
2015-02-02
版本/日期
2015-02-02
文件语言
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文件

简短说明PZ277EK

S-3xx压电陶瓷偏摆台
版本/日期
1.0.0 November 2017
pdf - 1 MB

用户使用手册S310T0001

S-310、S-311、S-314、S-315、S-316压电Z/偏摆扫描仪
版本/日期
2018-01-23
文件语言 English
pdf - 833 KB

3D模型

S-316 STEP

zip - 25 KB