S-325 压电Z/偏摆台

用于偏摆镜和光学的高速三脚系统

PI S-325
光束偏转达10毫弧度
分辨率达50纳弧度
活塞运动高达30微米(用于路径长度调整)
紧凑型三脚设计:带一个公共平台的并联运动保持极化方向
亚微秒级响应时间
闭环版本可实现更高精度
用于直径高达25毫米(1")的反射镜
无摩擦、高精度柔性铰链导向系统
并联运动实现更高动态和更佳多轴精度

规格

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数据表S-325

2015-02-02
2015-02-02
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图纸/图片

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数据表

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数据表S-325

2015-02-02
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文件

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简短说明PZ277EK

S-3xx压电陶瓷偏摆台
1.0.0 November 2017
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用户使用手册PZ148

S-325压电Z/偏摆台
1.0.0
English
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3D模型

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S-325 STEP

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