N-510KAWP 高力NEXLINE® Z向/偏摆台

纳米级精度,用于半导体产业、晶圆校准

自锁,静止状态下无热量产生
可实现真空兼容和无磁性设计
并联运动实现更高动态和更佳多轴精度
无磨损NEXLINE®压电陶瓷步进驱动
负载能力达200牛
带集成式5纳米增量传感器实现高精度 + 皮米级分辨率抖动模式

规格

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数据表N-510KAWP

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N-510KAWP
NEXLINE® Z向/偏摆台

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