N-510KAWP 高力NEXLINE® Z向/偏摆台

纳米级精度,用于半导体产业、晶圆校准

N-510KAWP 高力NEXLINE® Z向/偏摆台
产品描述 规格 下载 报价/订购
  • 自锁,静止状态下无热量产生
  • 可实现真空兼容和无磁性设计
  • 并联运动实现更高动态和更佳多轴精度
  • 无磨损NEXLINE®压电陶瓷步进驱动
  • 负载能力达200牛
  • 带集成式5纳米增量传感器实现高精度 + 皮米级分辨率抖动模式

规格

数据表N-510KAWP

文件语言
pdf - 668 KB
pdf - 668 KB

下载

数据表

数据表N-510KAWP

文件语言
pdf - 668 KB
pdf - 668 KB

报价/订购

所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。

N-510KAWP

NEXLINE® Z向/偏摆台